電子廠廢氣處理概述
電子廠是所有從事與電子產品生產相關的工廠統(tǒng)稱,包括電子元器件生產廠,電子產成品生產廠等。像我們所熟知的消費電子、廣電設備、電路板、半導體芯片、儀器儀表等都是從電子廠產出的。因此,電子廠在國民經濟和社會生活中的位置是舉足輕重的,它在工業(yè)其中的數(shù)量也是非常龐大的。
當然,數(shù)量如此龐大的電子廠,在生產的各個環(huán)節(jié)都會產生大量的有害廢氣,像苯類、醇類、酮類、脂類等廢氣和有害粉塵,不僅氣味難聞,且對人體和環(huán)境都有較大的負面影響。現(xiàn)在國家雖然對電子、半導體產業(yè)有較大力度的支持,但對于電子廠廢氣排放的監(jiān)管卻越來越嚴格,工廠必須達標排放才能正常進行生產。
電子廠廢氣來源及廢氣成分
在電子行業(yè)中,造成環(huán)境污染的有機廢氣一般產生于??芯片生產或者是線路板的清洗、均 膠、去膠、刻蝕、顯影等生產過程,因此這些加工環(huán)節(jié)的生產車間,都需要做廢氣的達標排放處理。
電子行業(yè)常見的VOCs廢氣種類有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯等
電子廠廢氣處理工藝方案及原理簡述
方案一:預處理+ 活性炭吸附-脫附+ 催化燃燒( CO )工藝
方案二:預處理+ 沸石轉輪 +蓄熱式焚燒爐(RTO )工藝
吸附法利用多孔性固體吸附劑處理混合氣體,吸附劑選擇性高,活性炭屬非極性吸附劑,對非極性化合物有較強的吸附能力,一般可凈化低濃度有機廢氣。
焚燒法是沸石濃縮轉輪 + 焚燒方法使用的濃縮輪是一個裝滿吸附劑的旋轉輪,廢氣由旋轉輪的上游側進入濃縮輪的吸附區(qū),使VOCs 得到濃縮,再經脫附燃燒處理。
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